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武汉百臻半导体请求晶圆清洗机用取料组织及其使用方法专利防止气动吸盘揉捏晶圆盘对盘形成损坏

来源:凯发国际官网首页    发布时间:2025-08-04 18:30:49
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产品详情

  

武汉百臻半导体请求晶圆清洗机用取料组织及其使用方法专利防止气动吸盘揉捏晶圆盘对晶圆盘形成损坏

  金融界2025年7月30日音讯,国家知识产权局信息数据显现,武汉百臻半导体科技有限公司请求一项名为“一种晶圆清洗机用取料组织及其使用方法”的专利,公开号CN120388915A,请求日期为2025年04月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆清洗机用取料组织及其使用方法,归于晶圆清洗取料技术领域,经过设置往复丝杆、往复螺套、电动推杆、工型装置板和气动吸盘,操控电动推杆伸长推开工型装置板接近晶圆盘,直至工型装置板底部的四个气动吸盘贴紧在晶圆盘外表,操控电动推杆持续伸长,使工型装置板揉捏缓冲绷簧变形,在缓冲绷簧的回弹效果下将气动吸盘压紧在晶圆盘外表,使气动吸盘吸附固定在晶圆盘外表,防止气动吸盘揉捏晶圆盘对晶圆盘形成丢失损坏,再次发动滚动电机使往复螺套带动电动推杆和工型装置板移动,将晶圆盘从U型放置槽内部抽出移动至指定方位做清洗,然后便利对批量晶圆盘进行拿取放置至指定方位进行整理洗刷。

  天眼查资料显现,武汉百臻半导体科技有限公司,成立于2017年,坐落武汉市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本1428.5714万人民币。经过天眼查大数据分析,武汉百臻半导体科技有限公司参加招投标项目4次,产业线条,此外企业还具有行政许可4个。

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