金融界2025年7月30日音讯,国家知识产权局信息数据显现,武汉百臻半导体科技有限公司请求一项名为“一种晶圆清洗机用取料组织及其使用方法”的专利,公开号CN120388915A,请求日期为2025年04月。
专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆清洗机用取料组织及其使用方法,归于晶圆清洗取料技术领域,经过设置往复丝杆、往复螺套、电动推杆、工型装置板和气动吸盘,操控电动推杆伸长推开工型装置板接近晶圆盘,直至工型装置板底部的四个气动吸盘贴紧在晶圆盘外表,操控电动推杆持续伸长,使工型装置板揉捏缓冲绷簧变形,在缓冲绷簧的回弹效果下将气动吸盘压紧在晶圆盘外表,使气动吸盘吸附固定在晶圆盘外表,防止气动吸盘揉捏晶圆盘对晶圆盘形成丢失损坏,再次发动滚动电机使往复螺套带动电动推杆和工型装置板移动,将晶圆盘从U型放置槽内部抽出移动至指定方位做清洗,然后便利对批量晶圆盘进行拿取放置至指定方位进行整理洗刷。
天眼查资料显现,武汉百臻半导体科技有限公司,成立于2017年,坐落武汉市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本1428.5714万人民币。经过天眼查大数据分析,武汉百臻半导体科技有限公司参加招投标项目4次,产业线条,此外企业还具有行政许可4个。
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